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この装置は、 オートレース補助事業 により購入した機器です。 |
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エネルギー分散型X線分析装置（SEM）
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写真：エネルギー分散型X線分析装置（SEM）
- １．機器の概要
- 本機器は、エネルギー分散型X線検出器（EDS）を走査電子顕微鏡（SEM）に搭載したもので、製品の開発、品質管理、不具合原因の調査に活用できます。試料に電子線を照射して、試料から放出された信号（二次電子や特性X線等）を検出することで、試料表面を拡大観察しながら、目的とする箇所の化学成分を分析することができます。 近年は部品の軽量化、小型化に伴って、微小領域の観察や分析が求められています。これに対応するため、電子線を細く絞り、微小領域の観察や分析が可能なショットキー型電子銃を搭載した装置を整備しました。
- 紹介ポスター （PDF:1.4MB）
- ２．機器の仕様