この装置は、
オートレース補助事業
により購入した機器です。

 電界放出型走査電子顕微鏡システム
 


写真:走査型電子顕微鏡(左)外観  (右)本体
1.機器の概要
本機器は、真空中で細く絞った電子線を走査しながら試料に照射し、試料表面から発生する信号(二次電子・反射電子等)を検出することでモニタ上に試料表面の拡大像を表示し、数万倍から十数万倍(ナノメーターレベル)の高倍率観察や、エネルギー分散型X線検出器(EDS)による元素分析を行うことができます。 又、最低0.1kVからの低加速電圧(通常は5~20kV)での高分解能観察が可能であることから、熱に弱い試料の損傷を減らすことや、非導電性試料をそのまま観察することも可能です。
紹介ポスター (PDF:1MB)
2.機器の仕様
日本電子株式会社 JSM-7610FPlus
加速電圧0.1kV~30kV
照射電流数pA(ピコアンペア)~200nA(ナノアンペア)
倍率25倍〜1,000,000(100万)倍
二次電子分解能0.8nm(加速電圧15kV)、1.0nm(加速電圧1kV)
試料移動(範囲)X:70mm、Y:50mm、Z:1.0〜40mm
(傾斜)-5〜70°
(回転)360°エンドレス
到達圧力(電子銃室)10(-7)Paオーダー
(試料室)10(-4)Paオーダー
エネルギー分解能129eV
検出元素Be〜U
3.お問合せ先
工業技術研究所浜松工業技術支援センター 材料科 / 電話:053-428-4156