設置場所 富士（0545-35-5190）
担当部署 機械電子科
メーカー名 日立ハイテク
型番等 S-3400N/EDX
機器使用料一覧上の名称 走査電子顕微鏡（観察・EDX分析）
使用料（時間あたり） 5,850円
導入年 2011年
主な仕様 観察倍率:5～300,000倍
試料ステージ：100×50mm
最大試料サイズ:200mmφ、80mm(H)　（一部、制限有）
検出元素:B（ホウ素）～U（ウラン）
分析用検出器:ペルチェ素子冷却型、シリコンドリフト検出器
装置写真 走査電子顕微鏡【11-020701】
使用可否 可