| 設置場所 | 本所(054-278-3028) |
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| 担当部署 | 照明音響科 |
| メーカー名 | アメテック株式会社 |
| 型番等 | タリサーフ CCI HD XL |
| 機器使用料一覧上の名称 | 表面性状非接触測定機 |
| 使用料(時間あたり) | 15,960 円 |
| 導入年 | 2015年 |
| 主な仕様 | 干渉光を利用して表面の微細な凹凸を三次元で測定する装置です。ISO規格で定められている三次元の「粗さ」を評価することができます。 [主な仕様・機能] 測定範囲:150×150mm(水平方向)100mm(垂直方向) 分解能:最大0.0823μm(水平方向)最大0.01nm(垂直方向) 対応規格:ISO 25178 |
| 装置写真 |
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| 使用可否 | 可 |




