触針式表面粗さ形状測定機【08-006350】

設置場所	本所（054-278-3028）
担当部署	機械電子科
メーカー名	テーラーホブソン
型番等	フォームタリサーフPGI840
機器使用料一覧上の名称	触針式表面粗さ形状測定機
使用料（時間あたり）	2,960 円
導入年	2008年
主な仕様	JIS B0601-2001（ISO4287-1997）準拠 Z軸測定範囲：8mm（分解能0.8nm） トラバース長：120mm（最小0.125umピッチ） 非球面形状解析対応 スタイラス：ダイヤモンド2μm（90度、60度角錐）、ボール（60mm、150mmスタイラスアーム）
装置写真
使用可否	可