設置場所 | 浜松(053-428-4152) |
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担当部署 | 材料科 |
メーカー名 | 日本電子株式会社 |
型番等 | IB-09010CP |
機器使用料一覧上の名称 | 試料断面作製装置 |
使用料(時間あたり) | 2,910 円 |
導入年 | 2010年 |
主な仕様 | イオン加速電圧:2~6kV イオンビーム径:500μm(6kV、Si) 試料サイズ:11mm×10mm×2mm 試料ステージ(チルト):±5° 動作ガス:高純度Arガス |
装置写真 |
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使用可否 | 可 |