| 設置場所 | 浜松（053-428-4152） |
|---|---|
| 担当部署 | 材料科 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型番等 | IB-09010CP |
| 対応条例 | 試料断面作製装置 |
| 使用料（時間あたり） | 2,910 円 |
| 主な仕様 | イオン加速電圧：2～6kV イオンビーム径：500μm（6kV、Si） 試料サイズ：11mm×10mm×2mm 試料ステージ（チルト）:±5° 動作ガス：高純度Arガス |
| 装置写真 |
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