イオンミリング【17-003176】

設置場所	浜松（053-428-4152）
担当部署	材料科
メーカー名	サンユー電子株式会社
型番等	SVM-721
機器使用料一覧上の名称	イオンミリング装置
使用料（時間あたり）	1,240 円
導入年	2017年
主な仕様	加速電圧：2～8kV ビーム径：φ4ｍｍ 試料サイズ：最大φ50mm×ｔ20.5mm 試料ステージ（偏心量）：最大4mm 試料ステージ（チルト）:0°、60°、80° 試料ステージ（回転速度）：15rpm
装置写真
使用可否	可