設置場所 浜松(053-428-4152)
担当部署 材料科
メーカー名 サンユー電子株式会社
型番等 SVM-721
対応条例 イオンミリング装置
使用料(時間あたり) 1,240 円
主な仕様 加速電圧:2~8kV
ビーム径:φ4mm
試料サイズ:最大φ50mm×t20.5mm
試料ステージ(偏心量):最大4mm
試料ステージ(チルト):0°、60°、80°
試料ステージ(回転速度):15rpm
装置写真 イオンミリング【17-003176】