| 設置場所 | 浜松（053-428-4152） |
|---|---|
| 担当部署 | 材料科 |
| メーカー名 | サンユー電子株式会社 |
| 型番等 | SVM-721 |
| 対応条例 | イオンミリング装置 |
| 使用料（時間あたり） | 1,240 円 |
| 主な仕様 | 加速電圧：2～8kV ビーム径：φ4ｍｍ 試料サイズ：最大φ50mm×ｔ20.5mm 試料ステージ（偏心量）：最大4mm 試料ステージ（チルト）:0°、60°、80° 試料ステージ（回転速度）：15rpm |
| 装置写真 |
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