設置場所 浜松(053-428-4152)
担当部署 材料科
メーカー名 日本電子株式会社
型番等 EC-32010CC
対応条例 カーボンコーター
使用料(時間あたり) 2,130 円
主な仕様 蒸着源:専用カーボン棒
試料台:約64mmφ
蒸着源‐試料台間距離:135~165mm
試料サイズ:最大約64mmφ×約30mmt
使用圧力:20Pa以下
装置写真 カーボンコーター【17-003176】