設置場所 浜松(053-428-4152)
担当部署 光科
メーカー名 レーザーテック株式会社
型番等 OPTELICS HYBRID L7
機器使用料一覧上の名称 ハイブリッドレーザー顕微鏡
使用料(時間あたり) 4,530 円
導入年 2018年
主な仕様 光源:キセノンランプ、半導体レーザー(λ=405nm)
最大観察倍率:3,700x
各種機能:三次元形状測定(共焦点法、垂直走査型白色干渉法、位相シフト干渉法)、反射分光膜厚測定、微分干渉観察、画像連結
計測/解析:幅、高さ、面積、表面粗さ、透明膜厚
保存媒体:CD-R
装置写真 ハイブリッドレーザー顕微鏡【18-001872】
使用可否