設置場所 本所(054-278-3028)
担当部署 機械電子科
メーカー名 パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社
型番等 UA3P-500H
対応条例 高精度自由曲面測定機
使用料(時間あたり) 16,070 円
主な仕様 測定範囲 (X、Y、Z 軸):200 mm × 200 mm × 45 mm
測定物設置エリア (X、Y、Z 軸):300 mm × 270 mm × 252.5 mm
分解能:0.3 nm
上面測定最大傾斜角度:75°
上面プローブによる測定精度:± 0.05 μm ( 30° 以下、往復)
              ± 0.08 μm ( 45° 以下、往復)
              ± 0.10 μm ( 60° 以下、往復)
              ± 0.15 μm ( 70° 以下、下り)
座標軸による測定精度:0.05 μm ( 100 mm 以下)
           0.1 μm ( 200 mm 以下)
装置写真 高精度自由曲面測定機【20-003376】