設置場所 本所（054-278-3028）
担当部署 機械電子科
メーカー名 パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社
型番等 UA3P-500H
対応条例 高精度自由曲面測定機
使用料（時間あたり） 16,070 円
主な仕様 測定範囲 (X、Y、Z 軸)：200 mm × 200 mm × 45 mm
測定物設置エリア (X、Y、Z 軸)：300 mm × 270 mm × 252.5 mm
分解能：0.3 nm
上面測定最大傾斜角度：75°
上面プローブによる測定精度：± 0.05 μm ( 30° 以下、往復)
　　　　　　　　　　　　　　± 0.08 μm ( 45° 以下、往復)
　　　　　　　　　　　　　　± 0.10 μm ( 60° 以下、往復)
　　　　　　　　　　　　　　± 0.15 μm ( 70° 以下、下り)
座標軸による測定精度：0.05 μm ( 100 mm 以下)
　　　　　　　　　　　0.1 μm ( 200 mm 以下)
装置写真 高精度自由曲面測定機【20-003376】