設置場所 | 本所(054-278-3028) |
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担当部署 | 機械電子科 |
メーカー名 | パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社 |
型番等 | UA3P-500H |
対応条例 | 高精度自由曲面測定機 |
使用料(時間あたり) | 16,070 円 |
主な仕様 | 測定範囲 (X、Y、Z 軸):200 mm × 200 mm × 45 mm 測定物設置エリア (X、Y、Z 軸):300 mm × 270 mm × 252.5 mm 分解能:0.3 nm 上面測定最大傾斜角度:75° 上面プローブによる測定精度:± 0.05 μm ( 30° 以下、往復) ± 0.08 μm ( 45° 以下、往復) ± 0.10 μm ( 60° 以下、往復) ± 0.15 μm ( 70° 以下、下り) 座標軸による測定精度:0.05 μm ( 100 mm 以下) 0.1 μm ( 200 mm 以下) |
装置写真 |