設置場所 本所（054-278-3028）
担当部署 金属材料科
メーカー名 株式会社日立ハイテク
型番等 ArBlade 5000
対応条例 イオンミリング装置
使用料（時間あたり） 9,370 円
主な仕様 加速電圧0～8kV、間欠機能有り、ミリングレート1mm/hr（材料:Si)
平面加工モード　試料形状：50mm直径、25mm高さ
断面加工モード　試料形状：20mm巾、12mm奥行き、7mm高さ
装置写真 イオンミリング装置