走査型電子顕微鏡（エネルギー分散型Ｘ線分析装置）【21-006832】

設置場所	本所（054-278-3028）
担当部署	金属材料科
メーカー名	株式会社日立ハイテク　／　オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
型番等	SU3900（株式会社日立ハイテク） AztecLive UM40（オックスフォード・インストゥルメンツ）
対応条例	走査電子顕微鏡（観察）
使用料（時間あたり）	5,030円
主な仕様	SU3900（株式会社日立ハイテク） 加速電圧：0.3kV~30kV プローブ電流：１ｐA（ピコアンペア）～1.2μA（ナノアンペア） 写真倍率：5倍～300,000倍 二次電子分解能：3.0nm（加速電圧30kV、高真空モード）、15.0nm（加速電圧1kV、高真空モード） 反射電子分解能：4.0nm（加速電圧30kV、真空度6Pa） 試料形状： （最大試料径）300mmφ （最大高さ）130mm （最大重量）5kg 試料移動： （範囲）X:150mm、Y:150mm、Z:5～85mm （傾斜）-20～90° （回転）360° 到達真空度：1.5×10^-3Pa 低真空設定範囲：6～650Pa AztecLive UM40（オックスフォード・インストゥルメンツ） エネルギー分解能：127eV 検出元素：Be～Cf
装置写真