| 設置場所 | 本所（054-278-3028） |
|---|---|
| 担当部署 | 工芸科 |
| メーカー名 | キーエンス |
| 型番等 | LK-G10 KS-1100 LK-G3000V |
| 機器使用料一覧上の名称 | 非接触変位測定システム |
| 使用料（時間あたり） | 4,400円 |
| 導入年 | 2016年 |
| 主な仕様 | ステージ180mm×180mm 最小移動分解能0.1μm |
| 装置写真 |  |
| 使用可否 | 可 |
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