| 設置場所 | 浜松（053-428-4152） |
|---|---|
| 担当部署 | 材料科 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 |
| 型番等 | JEC-3000FC |
| 機器使用料一覧上の名称 | イオンスパッタ |
| 使用料（時間あたり） | 1,780 円 |
| 導入年 | 2024年 |
| 主な仕様 | ターゲット：白金 試料台：直径64mm 電極間距離：20～40mm 電流選択：10、20、30、40mA 蒸着時間：1～300秒 使用圧力：20Pa以下 導入ガス：大気 |
| 装置写真 |
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| 使用可否 | 可 |
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